Вакуумна техника

Предговор

Част I. Физически основи на вакуумната техника

Глава 1. Уравнение за състоянието на идеалния газ

Глава 2. Елементи на кинетичната теория на газовете
2.1. Топлинно движение на молекулите
2.2. Брой молекули имащи скорост в зададен телесен ъгъл
2.3. Брой на ударите на молекулите в стената
2.4. Налягане на газа
2.5. Атмосферно налягане

Глава 3. Разпределение на Максуел
3.1. Неявен вид на разпределението на Максуел
3.2. Явен вид на разпределението на Максуел по скорости
3.3. Определение на средна, средно квадратична и максимална скорост
3.4. Функции на разпределение по импулс и по енергия
3.5. Брой молекули в зададени интервали
3.6. Разпределение на Максуел-Болцман

Глава 4. Преносни явления
4.1. Емпирични явления на пренос
4.2. Дължина на свободен пробег
4.3. Преносни явления при вискозен режим. Общи уравнения за пренос
4.4. Преносни явления при молекулен режим

Глава 5. Взаимодействие на газообразуващите вещества с течните и твърдите вещества
5.1. Газ или пара?
5.2. Абсорция и десорбция
5.3. Абсорция и газоотделяне

Глава 6. Основни величини и уравнения на вакуумната техника
6.1. Количество газ
6.2. Газов поток
6.3. Скорост на изменение на обема
6.4. Основни закони
6.5. Основни уравнения

Глава 7. Проводимост на вакуумни елементи
7.1. Проводимост на отвори
7.2. Проводимост на тръбопроводи

Част II. Вакуумна техника

Глава 8. Вакуумни помпи
8.1. Възможности за създаване на вакуум
8.2. Параметри и характеристики на вакуумните помпи

Глава 9. Механични помпи
9.1. Пластино-роторни помпи
9.2. Двуроторни помпи на Рутс
9.3. Молекулни помпи

Глава 10. Дифузионни вакуумни помпи
10.1. Принцип на действие
10.2. Уравнение за разпределение на налягането
10.3. Конструкция на дифузионните помпи
10.4. Скорост на изпомпване
10.5. Параметри и характеристики на дифузионните помпи

Глава 11. Помпи с повърхнинно действие
11.1. Криогенни помпи
11.2. Абсорбционни (цеолитови) помпи
11.3. Гетерни и йонно-гетерни помпи

Глава 12. Хидростатични, компресионни и деформационни вакуумметри
12.1. Хидростатични вакуумметри
12.2. Компресионен вакуумметър (на Мак-Леод)
12.3. Деформационни вакуумметри

Глава 13. Топлоелектрически вакуумметри
13.1. Принцип надействие
13.2. Граници на измерване
13.3. Влияние от вида на газа
13.4. Измерителни схеми

Глава 14. Йонизационни вакуумметри
14.1. Електронно-йонизационни вакуумметри
14.2. Магнито-електроразрядни вакуумметри. Вакуумметър със студен катод на Пенинг

Глава 15. Градуиране на вакуумметри
15.1. Непосредствено градуиране
15.2. Градуиране чрез сравнение
15.3. Градуиране чрез редукция на налягането

Глава 16. Натичания във вакуумните системи
16.1. Видове натичания
16.2. Задачи на диагностиката

Глава 17. Масова спектрометрия
17.1. Общи положения
17.2. Масспектрометричен анализ
17.3. Качества на масовите спектрометри
17.4. Видове масспектрометри
17.5. Разшифроване на спектри
17.6. Масспектрометрична вакуумна система

Литература